Методичні вказівки до самостійної роботи студентів з дисциплін «Твердотільна електроніка» та «Основи мікроелектроніки та функціональної електроніки» щодо виконання розрахунків і проектування плівкових елементів гібридних інтегрованих схем для студентів напрямів «Мікро- та наноелектроніка» і «Електронні пристрої та системи»
Міністерство освіти і науки України Вінницький національний технічний університет Методичні вказівки до самостійної роботи студентів з дисциплін «Твердотільна електроніка» та «Основи мікроелектроніки та функціональної електроніки» щодо виконання розрахунків і проектування плівкових елементів гібридних інтегрованих схем для студентів напрямів «Мікро- та наноелектроніка» і «Електронні пристрої та системи» Вінниця ВНТУ 2015 Рекомендовано до друку Методичною радою Вінницького національного технічного університету Міністерства освіти і науки, молоді та спорту України (протокол № від 2015 р.) Рецензенти: О. В. Осадчук, доктор технічних наук, професор С. Т. Барась, кандидат технічних наук, доцент Методичні вказівки до самостійної роботи студентів з дисциплін «Твердотільна електроніка» та «Основи мікроелектроніки та функціональної електроніки» щодо виконання розрахунків і проектування плівкових елементів гібридних інтегрованих схем для студентів напрямів «Мікро- та наноелектроніка» і «Електронні пристрої та системи» / Уклад. Ю. С. Кравченко. – Вінниця : ВНТУ, 2015. – 29 с. Наведені методика, основні формули і довідкові дані, необхідні для розрахунків плівкових елементів гібридних інтегрованих схем, а також практичні рекомендації щодо використання таких розрахунків при проектуванні приладів мікроелектроніки. Призначені в якості додаткового матеріалу при організації самостійної роботи студентів напрямів «Мікро- та наноелектроніка» і «Електронні пристрої та системи» в межах дисциплін «Твердотільна електроніка» і «Основи мікроелектроніки та функціональної електроніки». ЗМІСТ ВСТУП......................................................................................................... 4  1 ЗАГАЛЬНІ ПОЛОЖЕННЯ ЩОДО ОРГАНІЗАЦІЇ САМОСТІЙНОЇ РОБОТИ СТУДЕНТІВ................................................................................  4  2 ПЛІВКОВІ ЕЛЕМЕНТИ ГІБРИДНИХ ІНТЕГРОВАНИХ СХЕМ….. 4   2.1 Підкладки тонкоплівкових ГІС…………………………………... 4   2.2 Матеріали елементів тонкоплівкових ГІС………………………. 5   2.2.1 Матеріали резисторів……………………………………... 5   2.2.2 Матеріали конденсаторів…………………………………. 6   2.2.3 Матеріали провідників і контактних майданчиків……... 7   2.3 Методи формування конфігурацій елементів тонкоплівкових ГІС…………………………………………………………………………  9   2.3.1 Масочний метод…………………………………………... 9   2.3.2 Фотолітографічний метод………………………………... 9   2.3.3 Комбінований масочний і фотолітографічний метод….. 9   2.4 Конструктвні та технологічні обмеження при проектуванні тонкоплівкових ГІС……………………………………………………….  10   2.5 Конструктивний розрахунок тонкоплівкових резисторів …… 13   2.5.1 Розрахунок прямокутних смугових резисторів…………. 15   2.5.2 Розрахунок резисторів складної форми…………………. 18   2.6 Розрахунок тонкоплівкових конденсаторів...…………………... 20   ЛІТЕРАТУРА …………………………………………………………….. 28  ВСТУП Чинні методичні вказівки розроблено відповідно до програми підготовки бакалаврів з електроніки за напрямами «Мікро- та наноелектроніка» і «Електронні пристрої та системи» та навчальних програм дисциплін «Твердотільна електроніка» і «Основи мікроелектроніки та функціональної електроніки». Мета даної розробки – покращення методичного забезпечення самостійної роботи студентів в межах даних дисциплін і допомога в опануванні методиками розрахунків елементів інтегрованих мікросхем. 1 ЗАГАЛЬНІ ПОЛОЖЕННЯ ЩОДО ОРГАНІЗАЦІЇ САМОСТІЙНОЇ РОБОТИ СТУДЕНТІВ Самостійна робота студентів в меж...