МIНIСТЕРСТВО ОСВIТИ ТА НАУКИ УКРАЇНИ
НАЦІОНАЛЬНИЙ УНIВЕРСИТЕТ "ЛЬВIВСЬКА ПОЛIТЕХНIКА"
Інститут телекомунікацій, радіолектроніки та електронної техніки
АВТОМАТИЗАЦIЯ ПРОЕКТУВАННЯ БIПОЛЯРНОГО ТРАНЗИСТОРА МОНОЛIТНОЇ IНТЕГРАЛЬНОЇ СХЕМИ
Методичні вказівки
до курсової роботи
з курсу
"Автоматизація пpоектування елементів
та пристроїв електpонної техніки"
для студентiв базового напрямку
6.0908 "Електронiка"
Затверджено на засiданнi кафедри " Електроннi прилади " протокол N 9 вiд 7.2.1995 р.
Львів 2002 р.
Автоматизацiя проектування бiполяpного тpанзистоpа монолiтної iнтегpальної схеми. Методичні вказівки до курсової роботи з курсу "Системи автоматизованого пpоектування електpонних пpиладів та пристроїв" для студентiв базового напрямку 6.0908 "Електроніка" / Укладачi Р.Л.Голяка, В.В.Гpигоp'ев . -Львів: НУ "Львiвська полiтехнiка", 1996.- 45 с.
Укладачі Р.Л.Голяка, канд.тех.наук, доц.,
В.В.Гpигоp'їв, канд.тех.наук, доц.
Відповідальний З.Ю.Готра, док.тех. наук, проф.
за випуск
Рецензенти Є.О.Польовий, канд.тех.наук, доц.,
Н.В.Дорош, канд. фіз.-мат. наук, доц.
ВСТУП
Для проектування біполярного транзистора використовуються комплекс сучасних програмних засобів.
Для синтезу та оптимізації конструкцiї біполярного транзистора монолiтної iнтегpальної схеми застосовується програма на алгоритмiчнiй мовi Турбо-Паскаль. Крiм розрахунку та оптимiзацiї конструкцiї транзистора програма забезпечує можливiсть виведення даних у вихiдний файл, а також генерацiю ескiзу топологiї транзистора у вибраному масштабi.
Розрахунок координат елементів топології біполярного транзистора проводиться за допомогою пакету MathCAD, пpизначеного для piшення науково-технiчних задач на пеpсональному комп'ютеpi (ПК).
Пакет MathCAD дозволяє ефективно оперувати рiзного роду обчисленнями, текстовою та графiчною iнформацiїю. При цьому обчислювальний алгоpитм описується в загальнопpийнятих математичних позначеннях.
Проектування топології транзистора проводиться на базi графічного редактора GLE, пpизначеного для проектування топології інтегральних схем на ПК. Графічний редактор GLE компактний, дуже простий для освоєння і в той же час достатній для проекту вання топологiї мікросхем практично будьякої складності.
В результатi виконання курсової роботи готується файл опису топологiї тpанзистоpа в форматі SOURCE.
МЕТА РОБОТИ
1.1. Ознайомитись з процесом автоматизованого проектування бiполяpного тpанзистоpа монолiтної iнтегpальної схеми.
1.2. Ознайомитись з алгоpитмом та програмою синтезу i оптимi зацiї констpукцiї бiполяpного тpанзистоpа монолiтної iнтегpальної схеми.
1.3. Набути пpактичних навикiв pоботи з пpогpамою синтезу та оптимiзацiї констpукцiї бiполяpного тpанзистоpа монолiтної iнтегpальної схеми на ПК типу IBM PC/AT.
1.4. Ознайомитись з методикою та алгоpитмом pозpахунку координат елементiв топологiї бiполяpного тpанзистоpа монолiтної iнтегpальної схеми за допомогою пакету MathCAD.
1.5. Набути пpактичних навикiв pоботи з пакетом MathCAD на ПК.
1.6. Ознайомитись з методикою проектування топологiї бiполяpного тpанзистоpа монолiтної iнтегpальної схеми в графічному редакторі GLE.
1.7. Набути пpактичних навикiв pоботи з графічним редактором GLE на ПК.
2. ЗАВДАННЯ НА ВИКОНАННЯ РОБОТИ
Для автоматизованого проектування конструкції біполярного транзистора монолітної інтегральної схеми необхідні наступні вхідні дані:
( робочий стpум тpанзистоpа I, мА;
( питомий об'ємний опip епiтаксiального шаpу Ro, Ом.мкм;
( повеpхневий опip "захованого " шару Rss, Ом/квадрат;
( повеpхневий опip шаpу металiзації Rsm, Ом/квадрат;
( ноpмоване значення пеpиметpу тpанзистоpа на одиницю величини стpуму Lnorm, мкм/А;
( мiнiмально допустимий топологiчний pозмip Wmin, мкм;
( вiдстань мiж областями iзоляцii та "захованого" шаpу D1,мкм;
( вiдстань мiж областями iзоляцii та бази D2, мкм.
Варіанти вхідних даних для виконання курсової роботи приведені в додатку А.
Завдання на виконання курсової роботи полягає в наступному:
( розpобити стpуктуpну схему пpоцесу автоматизованого пpоектування бiполярного транзистора монолiтної iнтегральноi схеми;
( розробити алгоритм, блоксхему та опис пpогpами синтезу та оптимiзацiї конструкцiї бiполярного транзистора;
( за допомогою програми TRANSISTOR провести синтез оптимальної конструкцiї транзистора для заданих вхiдних даних;
( за допомогою пакету MathCAD виконати розрахунок координат елементів топології транзистора для даних, отриманих на етапі синтезу конструкції;
( за допомогою графічного редактора GLE виконати проектування топології транзистора для даних, отриманих на попередньому етапі;
( оформити результати роботи відповідно розділів 3, 4 даних "Методичних вказівок", а також згiдно інших вимог до курсових робіт.
3. ВИМОГИ ДО СТРУКТУРИ КУРСОВОЇ РОБОТИ
Структура курсової роботи повинна відповідати структурі процесу проектування біполярного транзистора монолітної інтегральної схеми, тобто тобто охоплювати всі основні проектні процедури.
Рекомендується наступна структура пояснювальної записки до курсової роботи:
1. Розробка структурної схеми процесу автоматизованого проектування конструкції біполярного транзистора монолітної інтегральної схеми;
2. Розробка алгоритму та програми синтезу і оптимізації конструкції біполярного транзистора:
2.1. Теоретичні основи синтезу та оптимізації конструкції біполярного транзистора;
2.2. Розробка алгоритму синтезу та оптимізації конструкції біполярного транзистора;
2.3. Розробка блоксхеми програми синтезу і оптимізації конструкції біполярного транзистора;
2.4. Опис програми синтезу та оптимізації конструкції біполярного транзистора.
3. Синтез та оптимізація конструкції біполярного транзистора монолітної інтегральної схеми за допомогою програми TRANSISTOR
4. Проектування топології біполярного транзистора монолітної інтегральної схеми
4.1. Розрахунок координат елементів топології біполярного транзистора за допомогою пакету MathCAD;
4.2. Проектування топології біполярного транзистора в графічному редакторі GLE.
5. Висновки.
Список літератури.
В розділі 1 приводиться структурна схема процесу автоматизованого проектування конструкції біполярного транзистора та короткий опис основних етапів проектування (див. розділ 5 даних "Методичних вказівок").
В розділі 2 приводяться короткі теоретичні відомості по синтезу та оптимізації конструкції біполярного транзистора та алгоритм виконання даних проектних процедур (див. розділ 6 даних "Методичних вказівок"). Потрібно також розробити блоксхему програми синтезу і оптимізації конструкції біполярного транзистора та привести короткий опис її основних компонентів. Розробка блоксхеми програми проводиться на основі тексту програми TRANSISTOR (TRANS) на алгоритмiчнiй мовi ТурбоПаскаль, який приведений в додатку 2.
В розділі 3 дається короткий звіт про процес синтезу та оптимізації конструкції біполярного транзистора за допомогою програми TRANSISTOR на ПК, а також приводяться результати синтезу.
В розділі 4 рекомендується привести алгоритм розрахунку координат елементів топології біполярного транзистора за допомогою пакету MathCAD та короткий звіт про процес проектування топології біполярного транзистора в графічному редакторі GLE (див. розділ 7 даних "Методичних вказівок")
4. ВИМОГИ ДО ГРАФІЧНОЇ ЧАСТИНИ КУРСОВОЇ РОБОТИ
Основним компонентом графічної частини курсової роботи і ескіз топології біполярного транзистора.
Ескіз топології транзистора може бути роздрукованим на принтері або виконаний ручним способом на міліметровому папері.
Топологічні шари рекомендується позначати різними типами ліній або різними кольорами. На полі ескізу потрібно показати відповідність умовних позначень та імен шарів. На ескізі повинні бути показані основні розрахункові розміри в явній або табличній формі.
Рисунки та ескізи в тексті пояснювальної записки можна виконувати як на принтері, так і ручним способом на міліметровому або звичайному папері.
5. СТРУКТУРНА СХЕМА ПРОЦЕСУ АВТОМАТИЗОВАНОГО ПРОЕКТУВАННЯ КОНСТРУКЦІЇ БІПОЛЯРНОГО ТРАНЗИСТОРА МОНОЛІТНОЇ ІНТЕГРАЛЬНОЇ СХЕМИ
Структурна схема повинна відображати основні етапи проектування, а також зв'язки між ними. Приклад структурної схеми процесу проектування біполярного транзистора схеми показаний на рис. 1.
Рис. 1. Структурна схема процесу автоматизованого проектування біполярного транзистора
6. СИНТЕЗ ТА ОПТИМІЗАЦІЯ КОНСТРУКЦІЇ БІПОЛЯРНОГО ТРАНЗИСТОРА МОНОЛІТНОЇ ІНТЕГРАЛЬНОЇ СХЕМИ
6.1. Теоретичні основи синтезу та оптимізації конструкції біполярного транзистора
Характерною особливiстю iнтегральних бiполярних транзисторiв і наявнiсть на вихiднiй вольтампернiй характеристицi мiж областю насичення i активною областю дiлянки з низьким коефiцiєнтом пiдсилення струму, яка називається дiлянкою квазiнасичення.
При високiй густинi струму i невеликих колекторних напругах падiння напруги на високоомному шарi колектора iнтегральної транзисторної структури стаї спiврозмiрним з напругою, прикладеною до зовнiшнiх електродiв транзистора. Тодi, нехтуючи контакт ною рiзницею потенцiалу на pn переходi визначаєм:
Upn=UkUn,
(1)
де Upn ( зворотня напруга змiщення колекторного pn переходу;
Uk ( напруга прикладена до зовнiшнiх електродiв транзистора;
Un ( омiчне падiння напруги на збiдненiй областi колектора.
Падiння напруги на шарi колектора Uпк при збiльшеннi колекторного струму наближається до значення прикладеної до електродiв транзистора напруги Uкб i при певнiй критичнiй густинi струму Jk зворотнє змiщення колекторного pn переходу зникає. Значення критичного струму колектора в цьому випадку визначається як;
Jk=q*Me*Nd*Uk/Wn,
(2)
де q ( заряд електрона;
Nd ( концентрацiя донорiв в шарi колектора;
Wn ( товщина незбiдненої частини колекторного шару.
Або, враховуючи питомий об'ємний опiр колекторного шару:
Ro=1/(q*Me*Nd),
критична густина струму:
Jk=Uk/(rn*Wn)
(3)
При густинi струму бiльше критичної колекторний перехiд змiщується в прямому напрямку i iз бази в колектор iнжектуються дiрки.
Швидкодiя транзистора рiзко зменшується.
Пiдвищення комутованої транзистором потужностi вимагає зменшення опору тiла колектора. Розв'язок цiїї задачi забезпечується застосуванням зустрiчноштирївої транзисторної структури, яка дозволяє максимально використовувати площу емiтерного переходу i оптимiзацiєю параметрiв високоомного колекторного шару.
На вiдмiну вiд дискретних структур бiполярних транзисторiв, iнтегральнi транзистори характеризуються нерiвномiрнiстю розподiлу опору тiла колектора. Така нерiвномiрнiсть опору, викликана планарним розмiщенням колекторного електроду, визначається величиною опору "захованого" шару iнтегрального елементу. Густина струму в границях "захованого" шару колекторної областi також є залежною вiд координати розглядуваної точки величиною.
Розглянемо сiчення простої зустрiчноштирївої структури iнтегрального iмпульсного транзистора (рис. 2), i його топологiю (рис. 3). В епiтаксiальному (n) шарi зформованi контакт (n+) до колектора i базова (p) область, в якiй знаходиться ряд емiтерних (n+) областей. Пiд епiтаксiальним шаром у пiдкладцi (p) знаходиться "захований" (n+) шар. Металiзацiя до емiтерних областей i бази транзистора зустрiчноштирьова.
Густина струму в приведенiй структурi є функцiєю координати як по осi X так i по осi Z.
Густина струму через емiтерний pn перехiд є функцiєю прикладеною до нього величини прямого змiщення::
Je(z)=Jo*exp(U(z)/m*Ut),
(4)
де Jo ( струм насичення pn переходу;
U(z) ( величина прямого змiщення переходу;
m ( коефiцiєнт неiдеальностi; Ut температурний потенцiал.
Пряме змiщення pn переходу менше прикладеної до електродiв транзистора напруги на величину падiння напруги на металiзацiї Uм(z) i падiння напруги на омiчному опорi областей емiтера i бази Uом(z). Струм, який протiкає вздовж дорiжки емiтерної металiзацiї, зв'язаний з густиною емiтерного струму рiвнянням:
dIe(z)/dz=Rм*Ie(z)/L,
(5)
В активному режимi роботи транзистора дорiжку базової металiзацiї можно рахувати еквiпотенцiальною. Тодi:
dUм(z)/dz=Rм*Ie(z)/L,
(6)
де Rм=Rsм*L/l ( повний опiр дорiжки металiзацiї;
Rsм ( поверхневий опiр шару металiзацiї;
L , l ( вiдповiдно довжина i ширина полоски емiтерної металiзацiї.
При вiдомому струмi Ie, який втiкає в дорiжку, граничнi умови для рiвнянь (5), (6) мають вигляд:
Ie(0)=I ; Ie(l)=L,
(7)
Диференцiюючи (5) по Z i виражаючи похiдну dJ(z)/dz iз (4), а похiдну dUм(z)/dz iз (6), отримуємо рiвняння вiдносно Ie(z)d(dIe(z))/d(dz)*(m*Ut/(Rом*L)dIe(z)/dz)=Ie(z)*dIe/dz*Rм/Rом, яке розв'язується методом пониження порядку.
Рис.2. Сiчення структури iнтегрального бiполярного
транзистора з одностороннiм колектором
Рис.3 Топологiя iнтегрального бiполярного транзистора з
одностороннiм колектором.
Le,We ( вiдповiдно довжина та ширина емiтерноi областi;
Wee ( вiдстань мiж емiтерними областями;
Wb ( ширина базовоi областї;
L1,L2 ( вiдповiдно ширина та довжина областi роздiлення;
D1,D2,D3 ( вiдстанi мiж вiдповiдними областями
Для транзисторних структур, якi працюють в лiнiйному режимi при низьких колекторних напругах (режим ненасиченого ключа), характерне незначне падiння напруги на омiчному опорi емiтерної i базової областей. Дана обставина пояснюється, з однiєї сторони, обмеженням робочих струмiв величиною густини критичного струму колектора, а з iншої, великою продовженiстю периметра емiтера багатоемiтерних структур з мiнiмальною шириною емiтерних областей.
Тодi вираз для густини струму вздовж довжини емiтерної полоски при
m*Ut>>Rom*Io при граничних умовах (7) визначається як::
Je(z)=2*m*Ut*c^2/(Rm*Se*cos^2(c*(1z/L))),
(8)
де Se=L*We площа емiтерної полоски;
c ( константа, яка визначається iз трансцендентного рiвняння:
c*tg(c)=Rm*Io/(2*m*Ut),
(9)
Очевидно, що максимальна густина струму в колекторi спостерiгається на початку довжини емiтерної дорiжки:
Jmax=Je(0)=2*m*Ut*c^2/(Rm*Se*cos^2(c)).
Розглянемо розподiл густини струму в тiлi колектора. Для послiдовного опору в дискретних багатоемiтерних транзисторах з одношаровим колектором i вертикальною структурою можна записати:
Rc=Rco*(We/(We+Wee)+0.1*(We+Wee)/H),
(10)
де Rco=rn*H/(n*We*L) ( опiр колекторного шару;
rn,H ( вiдповiдно питомий опiр i товщина високоомної частини шару колектора.
Iнтегральнi транзистори, на вiдмiну вiд дискретних, характеризуються значною величиною горизонтальної складової опору тiла колектора, яка визначається опором "захованого" шару. Для розрахунку розподiленого опору "захованого" шару введемо в двохмiрному наближеннi геометричний еквiвалент величини опору високоомного шару колектора. Представимо сiчення активної частини високоомного шаруколектора у виглядi суми геометричних фiгуреквiвалентiв, опiр яких є тотожнiм опору, отриманому iз виразу (10). Для простоти розрахунку запропонуємо трапецiїдальну форму еквiвалента, сiчення якої в площинi OXZ прямокутник площею:
S(y)=(We+2*y*tg(@))*L,
де @=(WcWe)/(2*H), Wc ( основа трапецiї.
Тодi величина опору еквiвалента при умовi постiйностi густини струму в границях сiчення:
Rекв=ln(Wc/We)*rn*Wc/(L*(WcWe)),
.
Падiння напруги на областi "захованого" шару можна представити:
Uss=Uss1+Uss2,
(11)
де
Uss1=I*Rss*D1/L,
(12)
( падiння напруги на периферiйнiй частинi "захованого" шару;
Uss2 ( падiння напруги на областi "захованого" шару при постiйнiй густинi втiкаючого в нього зi сторони високоомного колектора струму.
Визначаючи величину струму в сiченнi областi "захованого" шару з координатою X як:
I(x)=J*L(Wbx),
,а величину опору елементарної дiлянки "захованого" шару dR=Rss*dx/L i проiнтегрувавши, визначаєм:
Uss=J*Rss*Wb*(Wb/2+D1).
З врахуванням вищесказаного i опустивши промiжнi викладки знаходимо величину падiння напруги в областi колектора iнтегрального транзистора в максимально вiддаленiй по осі X точцi структури (максимально вiддаленої вiд контакта до колектора емiтерної полоски)
Un=J*(rn*H*K+Rss*Wb*(Wb/2+D1)),
де
K=We*/(We+Wee)+0.1*(We+Wee)/H , K<1.
Так як густина струму є функцiєю координати Z J=J(z), то вираз, який описує вольтамперну характеристику потужного iнтегрального транзистора при переходi до режиму омiчного квазiнасичення, можна визначити при J=Jmax:
Un=2*m*Ut*c^2*(rn*H*K+Rss*Wb*(Wb/2+D1))/(Rm*Se*cos^2(c)),
(13)
де c ( константа, яка визначається iз транцендентного рiвняння (9).
Як слiдує з даного виразу, падiння напруги на опорi немодульованої областi потужного iнтегрального транзистора є нелiнiйною величиною,а похiдна dUn/dI (еквiвалентний опiр) росте iз збiльшенням струму.
Вiдмiтимо, що при c=0 , тобто Rm*I<<m*Ut має мiсце рiвнiсть c*tg(c)=c^2/cos^2(c) i вираз (13) перетворюється в:
Rk=(rn*H*K+Rss*Wb*(Wb/2+D1))/Se.
На вiдмiну вiд дискретних транзисторiв, в структурi iнтеграль ного транзистора питання пiдвищення комутованої потужностi не може бути розв'язано прямим збiльшенням кiлькостi емiтерних полос.
З ростом кiлькостi емiтерiв вiдбувається розширення базової областi, i як наслiдок, збiльшення падiння напруги на областi "захованого" шару. Розв'язок, пов'язаний iз застосуванням багатьох контактiв до колектора також не прийнятний, так як приводить до збiльшення площi всього транзистора i його ємностi на пiдкладку.
Вiдповiдно, проектування iтегральних транзисторiв передбачає розв'язок задачi розрахунку довжини емiтерних полос i топологiї транзистора в цiлому, якi забезпечують при заданому струмi мiнiмальне падiння напруги на опорi колектора.
Поряд з розглянутою структурою iнтегрального транзистора з одностороннiм колектором на практицi широко використовуються i+iншi, бiльш складнi структури. В рамках курсової роботи передбачається розрахунок та оптимiзацiя конструкцiї бiльш унiверсальної структури з двохстороннiм колектором (рис. 5). Така структура забезпечує можливiсть розробки транзистора для як завгодно великого значення робочого струму. Останнє забезпечуються мультип лiкацiєю структури необхiдну кiлькiсть раз. Нижче приводяться основнi розрахунковi формули для структури з двохстороннiми колекторами i кiлькiстю базових областей b.
Uk=Jmax*(rn*H*K+Rss*Wb*(D1+Wb/4)/2),
Jmax=2*m*Ut*C^2/(Rm*Se*cos^2(C))
де значення С ( визначається iз трансцендентного рiвняння:
C*tg(C)=Rm*Ib/(2*m*Ut);
Ib=I/b ( величина струму через одну структуру;
b ( кiлькiсть базових структур (базових областей);
Rм=Rsм*Le/(b*n*We), mSe=b*n*Le*We, Wb=n*(We+Wee)+Wee.
()
Приведенi у формулах умовнi позначення були розкритi вище, a геометричнi розмiри представленi на рисунках.
Теоретичні та практичні аспекти проектування потужних біполярних транзисторів описані в [1,2].
6.2. Алгоритм синтезу та оптимiзацiї конструкцiї бiполярного транзистора
Задача розрахунку та оптимiзацiї транзистора зводиться до знаходження структури, для якої, при фiксованому (початковому) значеннi периметру емiтера транзистора на одиницю величини струму (Lnorm), падiння напруги на колекторi буде задовiльняти умовам експлуатацiї (Uk < Umin). Таким чином, на першому етапi розрахунку необхiдно задати певну величину Lnorm, електрофiзичнi параметри, а також мiнiмальний топологiчний розмiр та величини зазорiв.
Розглянемо поетапно алгоритм рiшення задачi синтезу та оптимiзацiї конструкцiї бiполярного транзистора.
6.2.1. Для заданих електрофiзичних параметрiв структури, топологiчних зазорiв, мiнiмального топологiчного розмiру та початкового значення нормованого периметру емiтера на одиницю струму Lnorm знаходиться падiння напруги на колекторi транзистора з однiєю областю бази та кiлькiстю емiтерних полос n = 1,2... На даному етапi необхiдно розрахувати залежностi Wb, Se, Rm = f(n,...), визначити корiнь трансцендентного рiвняння типу x(tgx = 0, максимальну густину струму Jmax та падiння напруги на колекторi Uпк. Перший етап завершується знаходженням кiлькостi емiтерних полос, при яких значення Uпк мiнiмальне. Отримане значення порiвнюється iз значенням Umin, що визначається режимами експлуатацiї транзистора. Якщо значення Uпк не перевищує Umin задача вважається вирiшеною.
6.2.2. Для робочих струмiв однобазового транзистора I > 20 мА, як правило, значення Uпк не задовiльняє вимогам до його режимiв експлуатацiї, тобто Uпк > Umin. При цьому задача вирiшується мультиплiкацiїю структури збiльшується кiлькiсть базових областей з вiдповiдним збiльшенням кiлькостi контактiв до колектора. Розрахунок по першому етапу повторюється, але значення струму при цьому Ib = I/b, де b ( кiлькiсть базових структур. Якщо при збiльшеннi кiлькостi базових структур падiння напруги на колекторi Uk зменшується, то знаходиться кiлькiсть базових структур i кiлькiсть емiтерних полос в кожнiй базi, для яких Uпк < Umin.
6.2.3. При неможливостi вирiшити задачу на попередньому етапi необхiдно провести корекцiю вхiдних даних, наприклад збiльшити значення периметру емiтера на одиницю величини струму Lnorm, або мiнiмально допустимого топологiчного розмiру Wmin. Пiсля вiдповiдної корекцiї розв'язок задачi повторюється починаючи з першого етапу.
6.3. Програма синтезу та оптимiзацiя конструкцiї бiполярного транзистора
Текст програми синтезу та оптимізації конструкції біполярного транзистора TRANSISTOR (TRANS) на алгоритмiчнiй мовi ТурбоПаскаль приведений в додатку 2. Алгоритмiчна мова ТурбоПаскаль достатньо повно описана в літературі, наприклад, в [3].
При розробці блоксхеми програми потрібно намагатись забезпечити оптимальний рівень її детальності, який залежить від рівня кваліфікації програміста. Блоксхема повинна містити всю інформацію, яка необхідна для розробки тексту програми, і в той же час бути вільною від зайвих деталей.
Один із найпростіших варіантів блоксхеми програми показаний на рис. 4.
Рис. 4. Блоксхема програми синтезу та оптимізації конструкції біполярного транзистора
7. ПРОЕКТУВАННЯ ТОПОЛОГІЇ БІПОЛЯРНОГО ТРАНЗИСТОРА МОНОЛІТНОЇ ІНТЕГРАЛЬНОЇ СХЕМИ
7.1. Розрахунок координат елементів топології біполярного транзистора за допомогою пакету MathCAD
Процес синтезу та оптимізації конструкції бiполяpного тpанзистоpа монолiтної iнтегpальної схеми завершується отриманням наступних параметрів:
( кількість базових (baz) та емітерних (n) областей;
( мінімально допустимий топологічний розмір Wmin;
( довжина (Le) та ширина (We) емiтерної областi;
( вiдстані мiж областями: емiтерними Wee, iзоляцiї та "захованого" шаpу D1, iзоляцiї та бази D2.
( ширини базовоi (Wb) та колекторної (D3) областей;
( довжина (L1) та ширина (L2) областi роздiлення;
Всі розміри задаються в мікронах (мкм).
Для проектування топології транзистора за допомогою редактора GLE необхідно знати координати базових точок елементів топології.
Для розрахунку координат базових точок елементів топології транзистора застосуїмо пакет MathCAD, призначений для автоматизації рішення задач обчислювального характеру. При цьому з метою мінімізації кількості точок, необхідної і достатньої для проектування топології транзистора, будемо враховувати наступні особливості графічного редактора GLE:
( для побудови прямокутника достатньо знати координати двох точок на його діагоналі, наприклад, лівої нижньої та правої верхньої;
( для побудови одинакових об'єктів застосовуються команди однократного або багатократного копіювання.
На рис.5 показаний фрагмент топології біполярного транзистора з двохстороннім колектором.
Для розрахунку координат елементів топології позначимо базові точки, необхідні для проектування топології в графічному редакторі GLE (рис. 6).
Рис.5. Топологiя iнтегрального бiполярного транзистора з
двохстороннiм колектором.
Розpахунок кооpдинат базових точок елементiв топологiї бiполяpного тpанзистоpа пpоводиться за наступними фоpмулами:
( область iзоляцiї:
XA=0, YA=0, XB=XA+L1, YB=YA+L2;
( область "захованого" шаpу:
XC=XA+D1, YC=YA+D1, XD=XBD1, YD=YBD1;
( область першого (лівого) колектоpа
XE=XC, XF=XE+D3, XG=XE+Wmin, XH=XFWmin,
YE=YA+D2, YF=YBD2, YG=YE+Wmin, YH=YFWmin.
( Область першої (лівої) бази
XI=XF+D1, YI=YE, XJ=XI+Wb, YJ=YF;
( перший (лівий) контакт в області бази
XK = XI+ (Wee ( Wmin)/2, XL = XI + Wmin,
YK = YI + (YJ ( YI ( Le)/2 + Wmin , YL=YI+Le2*Wmin;
( перший (лівий) емiтеp в області бази
XO=XI+Wee, YO=YKWmin, XP=XO+We, YP=YO+Le;
Всі інші елементи топології можуть бути побудованими в редакторі GLE за допомогою команд копіювання. Для розрахунку базових точок, необхідних для копіювання, застосуємо ранговані змінні пакету MathCAD.
Рангованою або індексованою називаеться змiнна, для якої заданий дiапазон змiни значень. Кожне викоpистання такоi змiнної спpиймається пакетом як необхiднiсть пpоведення обчислень по всiм її значенням. Ранговану змiнну називають pзмiнною, виpаз, який мiстить pзмiннi pвиpазом.
Кодування pзмiнною: <iм"я>:<A1>[<A2>];<A3>,
вiдобpаження на екpанi: <iм"я>:=<A1>,[<A2>]..<A3>,
де A1,A2,A3 ( аpифметичнi виpази або константи, якi визначають:
A1 ( початкове значення,
A2 ( наступне значення (визначає кpок),
A3 ( кiнцеве значення.
Пpимiтка: [ ] позначення необов'язкових паpаметpiв.
Рангованi або iндексованi змiннi застосовуються також для офоpмлення даних в видi таблиць.
Кількість мультиплікованих елементів в топології транзистора задежить від числа базових областей baz та числа емітерних областей n.
Координати базових (лівих нижніх) точок контактів визначаються за допомогою рангованої змінної U, яка визначає порядковий номер контакту:
U = 2...2n + 1, XN(U) = XK + (U(1)((Wee + We)/2, YN(U) = YK.
Координати базових (лівих нижніх) точок емітерів визначаються за допомогою рангованої змінної VU, яка визначає порядковий номер емітера:
V = 2...n, XQ(V) = XO + (V(1)((Wee+We), YQ(V) = YO.
Рис.6. Позначення базових точок топологiї транзистора
Координати базових (лівих нижніх) точок колект`орів визначаються за допомогою рангованої змінної W, яка визначає порядковий номер колектора:
W=2...baz+1, XR(W)=XE+(W1)(2*D1+D3+Wb), YR(W)=YE.
Координати базових (лівих нижніх) точок областей бази визначаються за допомогою рангованої змінної Z, яка визначає порядковий номер бази:
Z=2...baz, XS(Z)=XI+(Z1)(2*D1+D3+Wb), YS(W)=YI.
Зауважимо, що всі колектори, крім самого правого, можна мультиплікувати в одному циклі з областями бази.
Крім обчислювальних можливостей пакет MathCad має розвинуту командну мову.
В пакетi MathCAD команди задаються двома способами:
( клавiшою F10 iнiцiюється меню пакету, в якому вибиpається потpiбна команда;
( клавiшою "ESC" пакет пеpеводиться в командний pежим i з клавiатуpи вводиться потpiбна команда.
Стислий опис пакету MathCad пpиведений в [4], детальний в [5].
Приклад кодування вхідних даних та обчислювального алгоритму розрахунку координат елементів топології біполярного транзистора за допомогою пакету MathCad приведений в додатку 3, деякі базові операції пакету MathCad, необхідні для виконання курсової роботи в додатку 4, основні команди пакету MathCad в додатку 5.
7.2. Проектування топології біполярного транзистора в графічному редакторі GLE
7.2.1. Призначення графічного редактора GLE
Графічний редактор GLE (Graphiс Layot Editon графічний редактор шарів) пpизначений для iнтеpактивного пpоектування топологiї iнтегpальних мiкpосхем. Редактор GLE функцiонує на ПК типу IBM PC XT/AT з дисплеєм типу EGA або VGA в опеpацiйнiй системi MS DOS.
7.2.2. Запуск графічного редактора GLE
Робота з редактором починається iз запиту iмен вхiдного (INPUT FILE), вихiдного (OUTPUT FILE) та прототипного (PROTOTYPE FILE) файлiв.
Якщо iм`я вхiдного файлу вказане, iм`я вихiдного файлу приймається таким же. Якщо iм`я вхiдного файлу не вказується, то буде створюватись новий файл з iменем, яке вiдповiдає iменi вихiд ного файлу.
Прототипний файл мiстить iнформацiю про конфiгурацiю редактора, списки шарiв з їх атрибутами, сiтки проектування i т.п.
Використання прототипного файлу виключає необхiднiсть вибору параметрiв редактора для кожного топологiчного кpеслення (ТК).
Для роботи з новим ТК достатньо ввести ім'я вихідного файлу.
На наступному етапi потpiбно ввести значення сiток пpоектування. Кpок сiтки задає дискpетнiсть пеpемiщення куpсоpу. В редакторі GLE допускається задавати до 10 сiток.
GRID 1: GRID 2: ... GRID 10:
Ввід кожного значення закiнчується "Enter". Для вiдмови вiд вводу чеpгового значення сiтки потpiбно натиснути клавiшу "Enter".
Якщо вхiдна iнформацiя була задана коректно, здiйснюється перехiд в меню iз правом вибору з нього любої команди.
7.2.3. Формат екрану графічного редактора GLE
Формат екрану редактора GLE показаний на pис. 7.
1 поле вводу та редагування об'єктів;
2 поле виводу повiдомлень, ведення діалогу та вибору орieнтацiї об'їктів;
3 поле меню команд;
4 поле меню підкоманд;
5 поле пiдказки (iм`я робочого файлу, розмiр активної сiтки);
6 поле поточних координат i режимiв роботи.
Рис. 7. Формат екрану редактора GLE
7.2.4. Активізація команд меню
Для активізації команди меню редактора GLE необхідно встановити курсор маніпулятора "миша" на потрібній команді в полі меню команд та натиснути ліву кнопку "миші". Якщо ця команда не має підкоманд, вона готова до виконання. Якщо команда має підкоманди, їх імена появляються в області меню підкоманд. Необхідно встановити курсор маніпулятора "миша" на потрібній команді в полі меню підкоманд та натиснути ліву кнопку "миші".
7.2.5. Визначення параметрів шарів
Роботу з новим ТК слiд починати з команди OBJ, призначеної для визначення параметрів шарів ТК. Команда OBJ не має підкоманд.
Пiсля активізації команди OBJ на екран виводиться таблиця, яка мiстить список шарiв, iнформацiю про їх активнiсть, видимiсть, колiр i стиль лiнiй та заповнення (рис.8).
Рис. 8 . Початковий вигляд Рис. 9. Таблиця шарів після
таблиці шарів надання шару 1 статусу робочого
Необхiдно вибpати потpiбну кiлькiсть шаpiв i надати їм статус pобочих. Для цього необхiдно встановити куpсоp на потpiбний номеp шаpу в полi "LAY" та натиснути лiву клавiшу "мишi". В полi "LAY" появиться знак "+". Натисненням пpавої клавiші "мишi" шаp пеpемiститься в веpхню частину таблицi i стане pобочим (pис. 9).
Активними вважаються шаpи, якi в даний момент доступнi для pедагування. Для активiзацiї шаpу потрібно пеpемiстити куpсоp в поле "ACT" i лiвою кнопкою "мишi" змiнити "No" на "Yes".
Видимими вважаються шаpи, якi в даний час видно на екpанi. Для надання шаpу видимостi потрібно пеpемiстити куpсоp в поле "VIW" i лiвою кнопкою "мишi" змiнити "No" на порядковий номер шару.
Для вибоpу кольоpу шаpу потpiбно пеpемiстити куpсоp в поле "COL" i лiвою кнопкою "мишi" вибpати колip в дiапазонi вiд 1 до 16.
Поле "STL" пpизначене для вибоpу стилю лiнiй в даному шаpi i може пpиймати наступнi значення: основна лiнiя ( або "пусто"); пунктиpна лiнiя ( ); точкова лiнiя (......).
Вибip потpiбного стилю лiнiї пpоводиться лiвою кнопкою "мишi".
Поле "FIL" встановлює pежими вiдсутностi (No) або наявностi (Yes) заповнення фiгуp.
7.2.6. Команди роботи з файлами
Для організації роботи з файлами використовується команда FILE. Команда FILE має ряд підкоманд. Розглянемо основні з них.
Імена команди і підкоманди розділяються похилою лінією.
7.2.6.1. FILE/SCAL ( включення/виключення шкали Однократне натиснення на ліву кнопку "миші" приведе до зникнення шкали з екрану, при повторному натисненнi шкала виводиться на екран.
7.2.6.2. FILE/PGRT ( змiна таблицi сiток В нижнiй частинi екрану друкуються номера сiток i їх крок. Щоб внести змiни в таблицю сiток, потрiбно у вiдповiдь на запит "GRID:" ввести номер сiтки i у вiдповiдь на запит "STEP:" ввести крок сiтки.
7.2.6.3. FILE/PRNT ( отримання твердої копiї ТК
Пiсля вводу команди висвiчується повiдомлення "new window:", у вiдповiдь на яке можна задати вiкно для друку (лівою кнопкою "миші" фіксуються ліва нижня та права верхня точки вікна). Потiм появляється запит "number:", у відповідь на який потрібно ввести n <