Подякувати Студентському архіву довільною сумою
Admin
26.02.2023 12:38
Дякуємо, що користуєтесь нашим архівом!
Інформація про навчальний заклад
ВУЗ:
Національний університет Львівська політехніка
Інститут:
Не вказано
Факультет:
Комп’ютерні науки
Кафедра:
Не вказано
Інформація про роботу
Рік:
2006
Тип роботи:
Методичні вказівки до лабораторної роботи
Предмет:
Автоматизація проектування
Частина тексту файла (без зображень, графіків і формул):
МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ
НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ “ЛЬВІВСЬКА ПОЛІТЕХНІКА”
АВТОМАТИЗОВАНЕ ПРОЕКТУВАННЯ АКСЕЛЕРОМЕТРА ЄМНІСНОГО ТИПУ: ПОБУДОВА ТВЕРДОТІЛЬНОЇ МОДЕЛІ
МЕТОДИЧНІ ВКАЗІВКИ
до лабораторної роботи з курсу
“Автоматизація проектування мікроелектронних систем”
для студентів базового напрямку
6.08.04 “Комп’ютерні науки”
Затверджено
на засіданні кафедри
“Системи автоматизації проектування”
Протокол №
Львів – 2006
Автоматизоване проектування акселерометра ємнісного типу: Побудова твердотільної моделі: Методичні вказівки до лабораторної роботи з курсу “ Автоматизація проектування мікроелектронних систем ” для студентів базового напрямку 6.08.04 “Комп’ютерні науки”.
Укладач
Лобур Михайло Васильович, док. техн. наук, проф.
Теслюк Василь Миколайович, канд. техн. наук, доц.
Перейма Микола Євгенович, асист.
Відповідальний за випуск
Рецензенти
МЕТА РОБОТИ
Мета роботи – отримати навики проектування елементів мікро системної техніки в середовищі Ansys на прикладі акселерометра ємнісного типу.
КОРОТКІ ТЕОРЕТИЧНІ ВІДОМОСТІ
В даному розділі наведені основні теоретичні відомості стосовно будови, принципу функціонування та застосування акселерометрів.
2.1. Вступ
XXI сторіччя характеризується швидкими темпами розвитку нової міждисциплінарної науково-прикладної області, яка об’єднує в собі передові досягнення механіки, мікроелектроніки, оптики, електротехніки та інших областей і називається вона – мікроелектромеханічні системи (МЕМС). Дана назва більш широко використовується в США, в Європі відповідні пристрої називають мікросистемами, а в Японії – мікромашинами. Інтегральні пристрої даного типу володіють рядом переваг у порівнянні з пристроями реального світу:
вони надійніші;
дешевші;
легші;
мала енергія живлення;
інтеграція наукових областей носить сенергетичний характер;
групова технологія виготовлення;
та інші.
МЕМС є надзвичайно складними пристроями, тому при їх проектуванні та виготовленні не обійтися без систем автоматизованого проектування, відповідних методик, алгоритмів та підходів.
2.1. Акселерометри.
Сенсор – це пристрій, котрий у відповідності до проведеного вимірювання фізичної величини, генерує електричний сигнал на виході. Акселерометр – це сенсор, котрий дозволяє виміряти переміщення, швидкість та прискорення заданого об’єкту.
Акселерометри займають великий сегмент сучасного ринку електронних пристроїв. Виготовляють акселерометри за допомогою багатьох доступних технологій та застосовують в різноманітних прикладних задачах. Найчастіше їх використовують в автомобільній техніці, наприклад, для спрацьовування механізму повітряної подушки в автомобілі під час зіткнення з перешкодою. Відомі також спеціалізовані застосування: використання надчутливих і надлегких сенсорів для вимірювання вібрацій турбогенератора на електростанціях. Велике значення приділяється створенню сенсорів на кремнієвій основі з використанням МЕМС технологій. Дані пристрої характеризуються не тільки малими розмірами, але й низької вартістю масового виробництва.
Чутливий елемент сенсора прискорення складається з одного пластинного конденсатора, виготовленого за технологією поверхневої мікрообробки, котрий змінює свою ємність з вертикальним переміщенням однієї з пластин (по осі Z, котра є перпендикулярна до площини пластин). Верхня пластина монтована на пружних елементах, за принципом дії нагадує сейсмічну масу. Під впливом прискорення сейсмічна маса переміщується вертикально (по осі Z), змінюючи відстань між електродами, а ,відповідно, і ємність сенсора. Сейсмічна маса переміщується доти, поки зовнішня сила не буде повністю компенсована пружними силами підтримуючих пружних елементів.
Інколи недостатньо визначення лише статичних механічних параметрів акселерометрів такого типу (максимальне відхилення сейсмічної маси). Відповідно, у більшості випадків, значно цікавішими є динамічні властивості об’єкту дослідження. Особливо, коли предметом дослідження є механічний резонанс.
Рис. 1 3-D вигляд сенсорного конденсатора, виготовленого за MUMPs технологією
ВИКОРИСТАННЯ СЕРЕДОВИЩА ANSYS ДЛЯ ПРОЕКТУВАННЯ АКСЕЛЕРОМЕТРА
В розділі представлено методику проектування акселерометра ємнісного типу.
3.1 Середовище ANSYS
Ansys - це розвинуте середовище для числового розрахунку, котре застосовується для розв’язку різноманітних інженерних задач. Забезпечує проведення статичного, динамічного, частотного (гармонічного) та модального аналізу. Процес створення моделі в середовищі можна поділити на три етапи.
Визначення геометрії об’єкту і властивостей матеріалу – виконує графічний препроцесор;
Визначення краєвих умов і параметрів моделювання;
Аналіз і візуалізація результатів моделювання – виконує графічний постпроцесор.
3.2 Налаштування середовища Ansys
Програма Ansys запускається на виконання ярликом Interactive в групі ANSYS меню Start. Відкривається стартове вікно (Рис. 2), в якому необхідно задати наступні параметри:
Рис. 2 Початкове вікно робочого середовища Ansys
Робоча директорія - директорія, в котрій зберігаються всі файли проекту. Потрібно ввести: D:\Student\[група]\[студент]
Робочий продукт - модуль, що використовується середовищем, залежить від області моделювання і використаного фізичного ефекту. Модуль ANSYS/Multiphysics дозволяє в повній мірі провести необхідні дослідження і містить базовий набір числових засобів і методів.
Назва проекту (Initial Jobname) - початкова назва створеного проекту. Задане ім’я проекту може бути змінене командою меню File->Change Jobname головного вікна програми Ansys. Всі файли проекту, включаючи головну базу даних (*.db), мають імена <Jobname>.* а, відрізняються лише розширеннями. Головну базу можна зберегти під іншим іменем (File -> Save As), проте вона не буде автоматично підвантажена після входу в середовище або перезавантаження проекту/середовища. В такому випадку необхідно її завантажити самостійно (File -> Resume from). Впишіть назву проекту: Sensor.
Виділення пам’яті (Allocated memory) - загальний об’єм (for Total Workspace) і об’єм під базу даних (for Database). Якщо комп’ютер містить 512 MB оперативної пам’яті, цілком достатньо виділити 384MB пам’яті для всього проекту та 128MB RAM для бази даних. Залишити без змін.
3.3 Початок роботи з програмою
Щоб ввійти в робоче середовище натисніть кнопку Run. Середовище ANSYS складається з декількох вікон (Рис. 3). А саме, панель меню утіліт(Utility Menu) у верхній частині екрану і містить такі пункти меню як: File, Select, List, Plot, та інші. Вікно командної стрічки (ANSYS Input) розташована під вищезгаданою панеллю і містить консоль для введення команд з клавіатури. Будь-яка операція виконана в графічному середовищі (GUI) має свою команду-відповідник. Це дозволяє використовувати скрипти команд для автоматизації процесу моделювання. Наступним розглянемо вікно панелі ANSYS (ANSYS Toolbar), в якому користувач може створити власні клавіші для виконання заданих операцій. Наступне - вікно графіки (ANSYS Graphics), в якому представлена геометрія моделі. З лівого боку від вікна графіки розміщене вікно головного меню ANSYS (ANSYS Main Menu). При виборі певного пункту меню відкриваються каскадні підменю, котрі частково перекривають попередні. Це дозволяє швидко доступитися до передніх пунктів меню.
Рис. 3. Робоче середовище ANSYS
4.4 Введення назви процесу моделювання
Перш за все потрібно задати назву процесу моделювання. Для цього необхідно виконати команду: File -> Change Title (Рис. 4). У відкритому вікні Change Title потрібно ввести назву процесу моделювання, наприклад, “Modal analysis”, як на Рис. 5. Назва буде відображена в нижньому лівому куті вікна графіки ANSYS Graphics.
Рис. 5. Вікно зміни назви процесу моделювання
ПРОЕКТУВАННЯ СТРУКТУРИ
На даному етапі проектуємо модель акселерометра. Спочатку створимо профіль структури акселерометра, котрий потім витягнемо вздовж осі Z.
4.1 Створення поверхні сейсмічної маси
В Ansys Main Menu потрібно вибрати опцію Preprocessor (Рис. 6) і в каскадному меню Preprocessor знайти секцію Modeling та вибрати команду Create (Рис. 7). Потім у вікні Create вибрати Rectangle (Рис. 8). У вікні Rectangle виберіть опцію by Dimensions (Рис. 9). Такий метод опису дещо складний і непрозорий, тому в подальшому описі буде використовуватися спрощений запис. Наприклад: Main Menu -> Preprocessor -> - Modeling-(Create) -> -Areas-(Rectangle) -> By Dimensions
В результаті виконання послідовності операцій відкриється вікно Create Rectangle by Dimensions, в якому потрібно ввести координати протилежних кутів діагоналі прямокутника (Рис. 10). Введіть наступні координати: x1 = -200E-6, x2 = 200E-6, y1 = -200E-6, y2 = 200E-6. У вікні графіки відображена створена поверхня, котру назвемо Mass. Назва поверхні буде використовуватись в інструкції (див. Методологія присвоєння назви об’єкту). Модель повинна мати вигляд як на Рис. 11.
Інформація: Методологія присвоєння назви об’єкту
Нажаль, Ansys не дозволяє присвоювати імена об’єктам. Проте програма генерує імена автоматично (наприклад, A1, A2, A3…і.т.д.). Тому для ідентифікації об’єктів використаємо власні імена, котрі стосуються лише даної інструкції. Потрібно звернути увагу, що ці імена відповідають різним іменам, що генеровані програмою Ansys (літера і номер залежать від попередньої операції проектування: видалення, об’єднання, вирізання чи створення об’єкту).
Увага! Важливо: Apply, OK
Потрібно слідкувати за процесом проектування, щоб запобігти дублюванню об’єктів. Натиснувши кнопку Apply, а потім OK у вікні графіки (наприклад, як на Рис. 10.), буде створено два об’єкти, розміщені один на одному. Якщо потрібно закрити вікно без жодних змін, то натисніть кнопку Cancel.
4.2 Створення поверхні пружних елементів та анкерів
Для створення пружних елементів необхідно виконати наступні типи операцій: булеві, переміщення, копіювання та обертання.
4.2.1 Розпочнемо з побудови поверхні прямокутника, з якого створимо форму пружного елемента. Виконайте послідовність команд:
Main menu -> Preprocessor -> (-Modeling-)Create -> (-Areas-)Rectangle -> By Dimensions -> (x1 = 200E-6, x2 = 240E-6, y1 = -200E-6, y2 = 210E-6)
Створений прямокутник назвемо: Spring.
Створюємо поверхні прямокутників, котрі пізніше будуть видалені з головного:
x1 = 200E-6, x2 = 210E-6, y1 = -200E-6, y2 = 190E-6; _ назва Subtract_1
x1 = 220E-6, x2 = 230E-6, y1 = -190E-6, y2 = 210E-6;_ назва Subtract_2
x1 = 200E-6, x2 = 220E-6, y1 = 200E-6, y2 = 210E-6;_ назва Subtract_3
Щоб відрізнити створені поверхні, необхідно ввімкнути їх нумерацію. В Utility Menu (панель у верхній частині екрану) виберіть меню PlotCtrls -> Numbering. У відкритому вікні, як на Рис. 12 виберіть опцію Area Numbers та натисніть кнопку OK для підтвердження вибору. Модель повинна мати вигляд, як на Рис. 13. Зверніть увагу, що кольори відображення поверхонь можуть відрізнятися і поверхня Spring може закрити всі інші Subtract поверхні.
Рис. 12. Вікно Plot Controls
Рис. 13. Вигляд моделі
Рис. 14. Опція Replot
4.2.2 Зберігання проекту. Натисніть кнопку SAVE_DB у вікні Ansys Toolbar або виберіть команду File -> Save. Середовище Ansys не забезпечене жодною командою схожою на Undo. Тому, при необхідності відмінити останні зміни внесені в проект, можна лише завантажити останню збережену версію бази даних проекту. Таким чином втрачаються усі зміни зроблені після останнього збереження. Інший спосіб відтворення попереднього стану проекту – це збереження поточних версій проекту під різними іменами. Такі операції збільшують використання об’єму жорсткого диску, але з’являється можливість відтворити будь-який етап проекту. Команди, що реалізують дані операції це: File -> Save as… та File -> Resume from.
Увага: Якщо програма Ansys не здійснює регенерацію вікна графіки, то необхідно відновити його вміст командою Utility Menu -> Plot -> Replot як на Рис. 14.
4.2.3 Наступне завдання полягає у вирізанні форми пружного елементу акселерометра з поверхні Spring. Для цього потрібно виконати наступні команди:
Main Menu -> Preprocessor -> (-Modeling-)Operate -> ( Booleans-)Subtract -> Areas+
Відкриється вікно Subtract Areas. В графічному вікні програми Ansys ,вибираємо поверхню з якої буде проведено вирізання (Spring). Для підтвердження вибору натисніть кнопку OK. Для відміни хибного вибору натисніть кнопку Reset у вікні Subtract Areas. Тепер виберемо поверхні, котрі будуть вирізані (Subtract_1, Subtract_2, Subtract_3). Після вибору потрібно натиснути кнопку OK. Можливий результат описаної послідовності команд представлено на Рис. 15. Збережіть проект натиснувши кнопку Save_DB у вікні Ansys-Toolbar, проте пам’ятайте, що часте збереження результатів може призвести до неможливості відновлення попереднього стану проекту.
Рис. 15. Зображення моделі – доданий пружній елемент
Увага: Видалення непотрібних поверхонь проводиться наступними командами: Main Menu -> Preprocessor -> (-Modeling-)Delete -> Areas Only+. Відкриється вікно Delete Areas Only (Рис. 16). У вікні графіки потрібно вибрати поверхні для видалення і підтвердити вибір натиском кнопки OK у вікні Delete Areas Only.
При необхідності обновити вміст вікна графіки командою Plot – Replot.
4.2.4 Етап проектування анкеру:
Main Menu -> Preprocessor -> (-Modeling-)Create -> (-Areas-)Rectangle -> By Dimensions -> (x1 = 220E-6, x2 = 250E-6, y1 = 210E-6, y2 = 240E-6)
4.2.5 Тепер необхідно створити три пружних елементи з анкерами на кожній з граней сейсмічної маси. Для цього використаємо операції копіювання та обертання: виконаємо трикратне копіювання та переміщення в циліндричній системі координат пружного елементу з анкером. Спочатку необхідно змінити глобальну систему координат (картезіанську) на циліндричну (обертання навколо Z-осі): Workplane -> Change Active Cs to -> Global Cylindrical (Рис. 17).
Рис. 17. Зміна активної системи координат на глобальну циліндричну
Текст Csys=0 в стрічці заголовка вікна графіки програми Ansys заміниться на Csys=1. На даному етапі можна провести копіювання і обертання пружних елементів. Виконайте: Main Menu -> Preprocessor -> (-Modeling-)Copy -> Areas+. Після чого виберіть поверхню пружного елемента та анкера і натисніть кнопку OK для підтвердження вибору у вікні Copy Areas. Відкриється вікно, як на Рис. 18, в якому введіть кількість копій рівну 4 (влючно з оригінальним елементом) та кут повороту відносно осі Y (поле Y-offset) рівний 90 градусів. Інші поля потрібно залишити без змін.
Рис. 18. Вікно Copy Areas
Після підтвердження операції кнопкою OK, у вікні графіки буде відображено три додаткових пружних елементи з анкерами, розташованих вздовж трьох граней сейсмічної маси. Результат повинен мати вигляд, як на Рис. 19. Після успішного копіювання та обертання об’єктів необхідно повернутися до картезіанської системи координат, за допомогою наступної послідовності команд: Workplane -> Change Active CS to -> Global Cartesian.
Рис. 19. Зображення моделі після копіювання та обертання пружних елементів
4.3 Склеювання поверхонь
Для того, щоб програма Ansys, в процесі створення сітки скінчених елементів сприймала створений із склеєних поверхонь об’єм, як суцільний і на поверхнях контакту генерувала суцільну сітку, необхідно склеїти створені поверхні. Дана операція виконується послідовністю команд: Main Menu -> preprocessor -> (-Modeling-)Operate -> (-Booleans-)Glue -> Areas+. У відкритому вікні Glue Areas, натисніть кнопку Pick All (Рис. 20).
4.4 Створення отворів травлення
Останній крок побудови геометрії моделі це створення отворів травлення.
4.4.1 Спочатку, створимо прямокутники, котрі будуть представляти поверхні для вирізання з моделі. Пізніше, виріжмо їх із поверхні сейсмічної маси. Команда Main Menu -> Preprocessor -> Create -> (-Areas-)Rectangle -> By Dimensions -> (x1 = -185E-6, x2 = -175 E-6, y1 = -185E-6, y2 = -175E-6) створить площину прямокутника. Результат правильно виконаної операції представлений на Рис. 21.
Потім до створеної поверхні застосуйте команду копіювання: Main Menu -> Preprocessor -> (-Modeling-)Copy -> Areas. Виберіть попередньо створену поверхню отвору травлення і натисніть кнопку OK у вікні Copy Areas. У відкритому вікні введіть дані саме так, як на Рис. 22 та натисніть кнопку OK. Модель повинна виглядати як на Рис. 23.
Number of copies – including original -> 10
X-offset in active CS -> 4E-5
Повторіть операцію, але виберіть для копіювання 10 попередньо створених поверхонь. Для цього введіть 4E-5 у полі Y-offset in active CS field та 0 у полі X-offset in active CS вікна Copy Areas.
Рис. 24. Модель з поверхнями отворів травлення
Поле з назвою Number of Copies залишіть без змін (=10). Результат цієї операції представлено на Рис. 24.
4.4.2 Виконайте вирізання поверхонь отворів травлення: Main Menu -> Preprocessor -> (-Modeling-)Operate -> (-Booleans-)Subtract -> Areas+. Натисніть на поверхню сейсмічної маси та підтвердіть свій вибір командою OK у вікні Subtract Areas.
Перейдіть в режим вибору об’єктів (select mode) рамкою (box) (Рис. 25). У вікні графіки рамкою виберіть усі поверхні отворів і натисніть кнопку OK. Результат правильно виконаної операції представлено на Рис. 26.
Рис. 25. Вікно вирізання площин
Рис. 26. Вигляд моделі – усі отвори травлення створені
4.5 Витягування
Наступний етап процедури створення моделі полягає у витягування двох вимірної структури вздовж осі Z. Використайте для цього команду Extrude: Main Menu -> Preprocessor -> (-Modeling-)Operate -> Extrude -> (-Areas-)ByXYZoffser+. Натисніть кнопку Pick All у вікні Extrude Area by offset, щоб вибрати всі елементи структури. У додатково відкритому вікні (Рис. 27) введіть величину витягування вздовж осі Z = 2E-6 – товщина сейсмічної маси сенсора та натисніть кнопку OK. Програма Ansys автоматично створить додаткові поверхні в процесі створення об’єму. Результат витягування представлено на рис. 28 (відключена нумерація поверхонь).
Для кращого розуміння проекту потрібно ввімкнути нумерацію об’ємів та вимкнути нумерацію поверхонь. Для цього виконайте команди:
PlotCtrls -> Numbering -> Volume Numbers -> ON та
PlotCtrls -> Numbering -> Area Numbers -> OFF (Рис. 29).
Рис. 29. Вікно Plot Numbering Controls
Рис. 30. Вигляд моделі – ввімкнена нумерація об’ємів
Модель повинна прийняти вигляд, як на Рис. 30. Щоб змінити 3-D вигляд моделі використайте панель Pan, Zoom, Rotate: PlotCtrls -> Pan, Zoom, Rotate (Рис. 31), представлену на Рис. 32.
Рис. 31. Меню Plot Controls Menu
Рис. 32. Панель Pan-Zoom-Rotate
5. КОНТРОЛЬНІ ЗАПИТАННЯ
Що таке сенсор?
Що таке акселерометр?
Принцип дії ємнісного акселерометра?
Які типи аналізу дозволяє проводити середовище Ansys?
На які етапи поділяється процес створення моделі?.
6. ЛАБОРАТОРНЕ ЗАВДАННЯ
Ознайомитись з принципом функціонування акселерометра.
Ознайомитись з середовищем Ansys.
Згідно варіанту індивідуального завдання побудувати модель акселерометра (ст. 15-16).
7. ОФОРМЛЕННЯ ЗВІТУ
Короткий опис будови, принципу функціонування та застосування акселерометрів.
Короткий опис етапів побудови твердотільної моделі згідно індивідуального варіанту (товщина пластини 2е-6 м).
Висновки.
8. ЛІТЕРАТУРА
www.ansys.com.
Антонетти П., Антониадиса Д., Даттона Р., Оулдхеми У. МОП - СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов. Пер с англ. М., 1988.
О. Зенкевич. Метод конечных элементов в механике. М., «Мир», 1975 — 524с.
Д. Норри, Ж. де Фриз. Введение в метод конечных элементов. Пер. с англ. — М.: Мир, 1981. — 304с.
R.P. van Kampen, R. F. Wolffenbuttel. Modeling of the mechanical behavior of bulk-microfubricated silicon acceleromrter. Sensors and Actuators. 64 (1998) 137-150.
Рис. 33. Тип акселерометра для варіантів 1-15
ВАРІАНТИ ІНДИВІДУАЛЬНИХ ЗАВДАНЬ
a
b
c
d
e
f
g
h
1
300,0E-6
300,0E-6
20,0E-6
20,0E-6
20,0E-6
20,0E-6
90,0E-6
40,0E-6
2
310,0E-6
310,0E-6
21,0E-6
21,0E-6
21,0E-6
21,0E-6
88,0E-6
50,0E-6
3
320,0E-6
320,0E-6
22,0E-6
22,0E-6
22,0E-6
22,0E-6
86,0E-6
60,0E-6
4
330,0E-6
330,0E-6
23,0E-6
23,0E-6
23,0E-6
23,0E-6
84,0E-6
70,0E-6
5
340,0E-6
340,0E-6
24,0E-6
24,0E-6
24,0E-6
24,0E-6
82,0E-6
80,0E-6
6
350,0E-6
350,0E-6
25,0E-6
25,0E-6
25,0E-6
25,0E-6
80,0E-6
90,0E-6
7
360,0E-6
360,0E-6
26,0E-6
26,0E-6
26,0E-6
26,0E-6
78,0E-6
100,0E-6
8
370,0E-6
370,0E-6
27,0E-6
27,0E-6
27,0E-6
27,0E-6
76,0E-6
110,0E-6
9
380,0E-6
380,0E-6
28,0E-6
28,0E-6
28,0E-6
28,0E-6
74,0E-6
120,0E-6
10
390,0E-6
390,0E-6
29,0E-6
29,0E-6
29,0E-6
29,0E-6
72,0E-6
130,0E-6
11
400,0E-6
400,0E-6
30,0E-6
30,0E-6
30,0E-6
30,0E-6
70,0E-6
140,0E-6
12
410,0E-6
410,0E-6
31,0E-6
31,0E-6
31,0E-6
31,0E-6
68,0E-6
150,0E-6
13
420,0E-6
420,0E-6
32,0E-6
32,0E-6
32,0E-6
32,0E-6
66,0E-6
160,0E-6
14
430,0E-6
430,0E-6
33,0E-6
33,0E-6
33,0E-6
33,0E-6
64,0E-6
170,0E-6
15
440,0E-6
440,0E-6
34,0E-6
34,0E-6
34,0E-6
34,0E-6
62,0E-6
180,0E-6
Рис. 34. Тип акселерометра для варіантів 16-30
a
b
c
d
e
f
g
h
i
j
16
150,0E-6
150,0E-6
5,0E-6
5,0E-6
5,0E-6
5,0E-6
15,0E-6
20,0E-6
60,0E-6
20,0E-6
17
160,0E-6
160,0E-6
6,0E-6
6,0E-6
6,0E-6
6,0E-6
16,0E-6
21,0E-6
62,0E-6
21,0E-6
18
170,0E-6
170,0E-6
7,0E-6
7,0E-6
7,0E-6
7,0E-6
17,0E-6
22,0E-6
64,0E-6
22,0E-6
19
180,0E-6
180,0E-6
8,0E-6
8,0E-6
8,0E-6
8,0E-6
18,0E-6
23,0E-6
66,0E-6
23,0E-6
20
190,0E-6
190,0E-6
9,0E-6
9,0E-6
9,0E-6
9,0E-6
19,0E-6
24,0E-6
68,0E-6
24,0E-6
21
200,0E-6
200,0E-6
10,0E-6
10,0E-6
10,0E-6
10,0E-6
20,0E-6
25,0E-6
70,0E-6
25,0E-6
22
210,0E-6
210,0E-6
11,0E-6
11,0E-6
11,0E-6
11,0E-6
21,0E-6
26,0E-6
72,0E-6
26,0E-6
23
220,0E-6
220,0E-6
12,0E-6
12,0E-6
12,0E-6
12,0E-6
22,0E-6
27,0E-6
74,0E-6
27,0E-6
24
230,0E-6
230,0E-6
13,0E-6
13,0E-6
13,0E-6
13,0E-6
23,0E-6
28,0E-6
76,0E-6
28,0E-6
25
240,0E-6
240,0E-6
14,0E-6
14,0E-6
14,0E-6
14,0E-6
24,0E-6
29,0E-6
78,0E-6
29,0E-6
26
250,0E-6
250,0E-6
15,0E-6
15,0E-6
15,0E-6
15,0E-6
25,0E-6
30,0E-6
80,0E-6
30,0E-6
27
260,0E-6
260,0E-6
16,0E-6
16,0E-6
16,0E-6
16,0E-6
26,0E-6
31,0E-6
82,0E-6
31,0E-6
28
270,0E-6
270,0E-6
17,0E-6
17,0E-6
17,0E-6
17,0E-6
27,0E-6
32,0E-6
84,0E-6
32,0E-6
29
280,0E-6
280,0E-6
18,0E-6
18,0E-6
18,0E-6
18,0E-6
28,0E-6
33,0E-6
86,0E-6
33,0E-6
30
290,0E-6
290,0E-6
19,0E-6
19,0E-6
19,0E-6
19,0E-6
29,0E-6
34,0E-6
88,0E-6
34,0E-6
НАВЧАЛЬНЕ ВИДАННЯ
ПРОЕКТУВАННЯ АКСЕЛЕРОМЕТРА ЄМНІСНОГО ТИПУ
МЕТОДИЧНІ ВКАЗІВКИ
до лабораторної роботи з курсу
“Автоматизація проектування мікроелектронних систем”
для студентів базового напрямку
6.08.04 “Комп’ютерні науки”
Укладач Перейма Микола Євгенович
17.07.2020 15:07-
Ділись своїми роботами та отримуй миттєві бонуси!
0%
Оголошення від адміністратора